品牌：RST，产品型号：RST5070F、RST5210F

在RST系列电化学工作站中，型号为RST5070F和RST5210F的电化学工作站具有四探针电阻率测试方法。四探针电阻率测试方法是检验和分析导体和半导体材料质量的一种重要的工具，适用于生产企业、高等院校及各类科研部门。

该测试方法与电化学工作站中的其他方法一样，软件界面友好、参数设置简单明了。启动测试后，仪器按设定的参数自动连续采集数据，在屏幕上实时显示电阻-时间曲线。测试结束后，根据电阻形态参数自动换算成电阻率及电导率，无需人工计算。配备的专用电化学工作站软件在电脑上运行，可随时显示、保存、打印数据和图形，以备存查。

本方法的设置参数有：电阻形态及尺寸、探针形状及间距、激励电流及可测电阻范围、预热时间、样点间隔、样点数量、被测器件电动势等。

测试工具可根据被测产品及测试项目的要求选购，配置不同的测试工具可满足不同材料的测试要求。

本仪器的四探针电阻率测量方法适用于分立电阻、线状电阻、面状电阻、块状电阻、直流器件内阻。也就是说，可测量导体及半导体材料的轴向电阻率、径向电阻率、扩散层薄膜电阻率。本仪器具有自动电位扣除功能，因此可测量含源直流器件内阻。

100MΩ

1Ω图

1mΩ图

0.1mΩ图

参数及技术指标：

1. 电阻形态：分立电阻、线状电阻、面状电阻、块状电阻、直流器件内阻。

2. 电阻范围：0.1mΩ～1GΩ

3. 电阻率范围：10-6～106Ωcm

4. 激励电流范围：10nA、100nA、1μA，10μA，100µA，

1mA，10mA，100 mA、200 mA、500 mA

5. 电流精度：±0.1%量程

6. 电阻精度：≤0.3%量程

7. 显示数据：电阻、电阻率、电导率、电流、电压、探针形状、探针间距、材料尺寸 。

8. 测试方式：恒电流多脉冲电阻时间曲线

9. 被测器件电动势：无源或者E＜5mV，E＜1.5V，E＜4.5V，E＜9.5V。

10. 工作电源：AC 220V±10% ，50Hz， 功 耗<50W。

11. 整机不确定性误差：≤4%（标准样片结果）

12. 选购：（a）方形探头；（b）直线形探头；（c）测试平台。

13.探针材质选购：（a）碳化钨针；（b）白钢针；（c）镀金磷铜半球形针。